ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ И ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ: ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И ТЕНДЕНЦИИ РАЗВИТИЯ
Аннотация
В статье рассматриваются принципы построения интеллектуальных сенсоров и измерительных преобразователей с встроенной цифровой обработкой сигналов. Анализируются современные физические принципы преобразования, схемотехнические решения аналого-цифровых трактов и методы компенсации систематических погрешностей. Особое внимание уделено тенденциям интеграции сенсорных элементов с микроконтроллерными ядрами в рамках единой системы на кристалле, а также перспективам применения методов машинного обучения для повышения метрологических характеристик измерительных систем.
Ключевые слова
интеллектуальный сенсоризмерительный преобразовательМЭМСаналого-цифровой преобразователькомпенсация погрешностейсистема на кристаллесенсорный узелметрологические характеристики