ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ САМООРГАНИЗУЮЩИХСЯ МОНОСЛОЕВ В ПРОИЗВОДСТВЕ НАНОЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ

Аннотация

В тезисе рассматривается принципиально новый подход к созданию элементной базы электроники, основанный на использовании технологии самоорганизующихся монослоев (SAMs). В отличие от классических методов фотолитографии, авторы исследуют возможности «снизу-вверх» проектирования, где управление структурой вещества происходит на молекулярном уровне. В работе детально описываются термодинамические аспекты формирования слоев тиолов на золотых подложках, а также влияние химической природы функциональных групп на диэлектрические свойства получаемых интерфейсов. Предложенный метод позволяет преодолеть фундаментальные дифракционные пределы и открыть путь к созданию транзисторов молекулярного масштаба.

Ключевые слова